脉冲激光沉积、分子束外延薄膜制备系统
                脉冲激光沉积、分子束外延薄膜制备系统
                脉冲激光沉积、分子束外延薄膜制备系统

                脉冲激光沉积、分子束外延薄膜制备系统


                美国BlueWave公司是半导体设备、材料生产商,提供多种薄膜制备系统,包括:

                ?  脉冲激光沉积(PLD)

                ?  电子束蒸发

                ?  热蒸发

                ?  反应溅射

                ?  热丝化学气相沉积(HFCVD)

                ?  热化学气相沉积系统(TCVD)


                这些系统是理想的薄膜与涂层合成设备。可制备的薄膜包括氮化物、氧化物、多层膜、钻石、石墨烯、碳纳米管、2D材料。Blue Wave提供相关系统配件,例如基片加热装置、原位监测工具。此外,BlueWave还为您提供标准的薄膜以及材料涂层,例如氧化物涂层、导电薄膜、无定型或纳米晶Si/SiC、晶体AlN-GaN、聚合物、纳米钻石、HFCVD钻石涂层以及器件加工。


                性能稳定的薄膜沉积系统,可提供PLD、磁控溅射、蒸发镀膜等多种薄膜制备方案,是半导体薄膜制备的首选设备

                 1、脉冲激光沉积系统-PLD


                PLD产品特点:

                ?  超高真空不锈钢腔体

                ?  可集成热蒸发源或溅射源

                ?  可旋转的耐氧化基片加热台

                ?  流量计或针阀精确控制气体流量

                ?  标准真空计

                ?  干泵与分子泵

                ?  可选配不锈钢快速进样室

                ?  可选配基片-靶材距离自动控制系统

                ?  可制备:金属氧化物、氮化物、碳化物、金属纳米薄膜、多层膜、超晶格等。



                 

                 

                 



                2、物理气相沉积系统(Physical Vapor Deposition Plus)


                产品特点:

                ?  超高真空不锈钢腔体
                ?  电子束、热蒸发、脉冲激光沉积可集成

                ?  独立衬底加热,可旋转

                ?  多量程气体流量控制器

                ?  标准气压计

                ?  机械、分子、冷凝真空泵
                ?  可选不锈钢快速进样室

                ?  衬底和源距离可控

                ?  可用于金属氧化物、氮化物、碳化物、金属薄膜




                3、热化学气相沉积系统-TCVD


                 


                产品特点:

                ?  高温石英管反应器设计

                ?  温度范围:室温到1100度

                ?  多路气体精确控制

                ?  标准气压计

                ?  易于操作

                ?  可配机械泵实现低压TCVD

                ?  可用于制备金属氧化物、氮化物、碳化物、金属薄膜

                ?  液体前驱体喷头

                ?  2英寸超大完美温度均匀区



                4、热丝化学气相沉积系统-HFCVD


                产品特点:

                ?  水冷不锈钢超高真空腔

                ?  热丝易安装、更换 

                ?  4个不同量程气体控制器

                ?  标准气压计

                ?  衬底与热丝距离可调节

                ?  2英寸衬底加热、可旋转 

                ?  完美制备金刚石和石墨烯



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